S600

• 型号	S600
  典型加工线宽	200nm
  最小加工分辨率	200nm
  特征结构加工均匀度	10nm
  最低粗糙度	≥10nm
  最小特征线宽	≤150nm（X/Y平面）和≤300nm（Z轴）
  最小周期（X/Y平面）	≤400nm（X/Y平面）
  拼接精度	≤100nm（X/Y平面）
  最高加工产率	60mm2/min@500nm像素
  支持打印高度(Z)	5mm
  加工尺寸	标配100×100mm 可选配最大300×300mm
  电力要求	220V AC 50HZ

  
  
• 产品详情:
  健康生物医学：细胞支架、皮肤/组织模型、智能/活体材料、微针阵列、药物输送载体、纳米/柔性机器人、血管模型、细胞力学和迁移的拓扑结构、生物传感器、亚微米级图案设计等
  科研:生命科学、材料工程、微流控技术、微纳力学及MEMS、折射微光学、衍射为光学、集成光子学、光学传感、量子技术等
  工业：无掩膜版制造、医疗器械、晶圆级微纳加工、光子封装、快速原型制作、小批量系列生产等
  材料：
  光刻胶：生命科学用光刻胶、石英玻璃光刻胶、光刻负胶、无机固态光刻胶、有机无机杂化光刻胶、功能性光刻胶等
  
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