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型号 | S600 |
典型加工线宽 | 200nm |
最小加工分辨率 | 200nm |
特征结构加工均匀度 | 10nm |
最低粗糙度 | ≥10nm |
最小特征线宽 | ≤150nm(X/Y平面)和≤300nm(Z轴) |
最小周期(X/Y平面) | ≤400nm(X/Y平面) |
拼接精度 | ≤100nm(X/Y平面) |
最高加工产率 | 60mm2/min@500nm像素 |
支持打印高度(Z) | 5mm |
加工尺寸 |
标配100×100mm 可选配最大300×300mm |
电力要求 | 220V AC 50HZ |