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光子引线结构 无波导 VS 有波导
光子引线结构(有测试波导,连接测试,D100系列系统加工):
图中细线为芯片上的原硅光波导,正方形组合为定位结构,长矩形结构为设备定位光刻加工的聚合物波导。
光子引线结构(无测试波导,强度、形态测试,D100系列系统加工):
光子引线的优势就在于可将波导在空间变形,方便芯片上的结构进行封装连接(可以实现跨芯片单元连接;跨波导结构连接,如平面硅波导和光纤)。图中模拟了各种形态的波导加工可能。
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